广州功率器件真空镀膜 广东省科学院半导体研究所供应

真空镀膜：离子镀膜法：目前比较常用的组合方式有：直流二极型(DCIP)。利用电阻或电子束加热使膜材气化；被镀基体作为阴极，利用高电压直流辉光放电将充入的气体氩(Ar)(也可充少量反应气体)离化，广州功率器件真空镀膜。这种方法的特点是：基板温升大、绕射性好、附着性好，广州功率器件真空镀膜，膜结构及形貌差，若用电子束加热必须用差压板；可用于镀耐腐蚀润滑机械制品。多阴极型。利用电阻或电子束加热使膜材气化；依靠热电子、阴极发射的电子及辉光放电使充入的真空惰性气体或反应气体离化。这种方法的特点是：基板温升小，有时需要对基板加热；可用于镀精密机械制品，广州功率器件真空镀膜、电子器件装饰品。真空镀膜机炉体与炉门为了充分利用炉体的内部空间，减轻真空系统的负载。广州功率器件真空镀膜

真空镀膜：磁控溅射法：溅射镀膜较初出现的是简单的直流二极溅射，它的优点是装置简单，但是直流二极溅射沉积速率低；为了保持自持放电，不能在低气压(